超纯水设备反渗透膜化学清洗后的冲洗，要用清洁水（一般采用反渗透的产品水或至少是软化后的去离子水）进行低压冲洗。先排放并冲洗药液箱，然后再用清洁水完全注满清洗箱以作冲洗之用。从清洗箱中泵入所有的冲洗水冲洗反渗透膜压力容器至排放。如果需要，可进行第二次清洗。一旦RO系统已用清洗箱中的清洁水完全冲洗后，就可用预处理给水进行低压冲洗。给水压力应低于60psi（4bar），冲洗持续进行直至冲洗水干净，且不含任何泡沫和清洗剂残余物。通常这需要15-30分钟左右甚至更长。操作人员可用干净的烧瓶取样，摇匀，监测排放口处冲洗水中洗涤剂和泡沫的残留情况。洗液的去除情况可用测试电导的方法进行，如冲洗水至排放出水的电导在给水电导的10~20%以内，可认为冲洗已接近终点；pH表或试纸也可用于测定，来比较冲洗水至排放出水与给水的pH值是否接近。一旦所有级段已清洗干净，且化学药剂也已冲洗掉，纯水设备可重新开始置于运行程序中，但初始的产品水要进行排放并监测，直至RO产水可满足工艺要求（电导、pH值等）。为得到稳定的RO产水水质，这一段恢复时间有时需要从几小时到几天，尤其是在经过高pH清洗后。超纯水设备整体自动化程度高，遇故障立即自停，具有自动保护功能。
超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、EDI装置以及后级抛光混床处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除。
常见超纯水设备EDI膜装置故障原因介绍
1、通常EDI模块在长期在大电流小流量的情况下运行，导致积聚的热量不能够散发，而造成EDI接近两极的膜片发热变形，浓水压差增大，而水质水量就会不同程度的下降。
2、EDI工业超纯水设备手动运行时，在缺水状态下加电，直接导致膜片和树脂的发热碳化.清洗无效，无法使用。
3、当EDI设备停机时，没有对EDI模块进行采取保护措施，以及运行过程长期不做保养，导致EDI的膜片和通道滋生有机物，进出水压差增大，造成产水水质下降，电压上升，电流无法调节，终无法使用。
4、EDI模块长期没有保养，膜片和通道结垢，进出水压差增大，也会造成产水水质下降，电压上升，电流不能调节，导致后无法使用。
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5、在清洗过程中，采用的清洗、消毒药剂，而导致EDI树脂损坏和破碎，进出水压差增大，造成产水水质和水量全部下降。
6、EDI进水前无保安滤器，直接导致异物堵塞EDI通道，进出水压差增大，造成产水水量严重下降，清洗无效.以及前处理不佳(软化器，亚添加系统，RO等)、控制系统故障/失灵(安全联锁装置，低流量保护的问题)不适当的系统设计(RO初期产水未排放)等。
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7、电流电压超出额定值或人为误操作，系统维护管理不当，没有遵守EDI的使用条件。
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